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化学气相淀积(CVD)用混合气

  CVD是利用挥发性化合物,通过气相化学反应沉积某种单质或化合物的一种方法,即应用气相化学反应的一种成膜方法。依据成膜种类,使用的化学气相淀积(CVD)气体也不相同。

[此帖子已被 admin 在 2006-03-30 21:27:00 编辑过]

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编辑 删除 发表时间:2006/3/30 21:25:04  IP: 218.104.88.150
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