高纯氩气(超纯氩 Ar Argon )
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项目 |
指标纯度% |
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高纯氩气(Ar) |
99.999 |
99.9995 |
99.9997 |
超纯氩 99.9999 |
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杂质含量(ppm) |
氮(N2) |
≤5 |
≤5 |
≤3 |
≤0.4 |
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氧(O2) |
≤2 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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氢(H2) |
≤1 |
- |
- |
- |
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一氧化碳(CO) |
- |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
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二氧化碳(CO2) |
- |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
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水份 (H2O) |
≤4 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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总烃类THC |
≤2 |
≤0.3 |
≤0.2 |
≤0.1 |
包装：通常采用40升钢瓶(12～15MPa)，也可根据客户需要，分装到2～10升的气瓶(10MPa)中。
高纯氩（超纯氩）主要用途：
用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。
理化性质：
| 分子量：39.948 |
熔点：-189.2℃ |
| 沸点(101.325kPa)：-185.9℃ |
液体密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3 |
| 气体密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3 |
相对密度(0℃，101.325kPa，空气=1)：1.380 |
| 比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg |
临界温度：-122.4℃ |
| 临界压力：4864kPa |
临界密度：530.7kg/m3 |
| 熔化热(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg |
汽化热(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg |
| 比热容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) |
Cv=309.82J/(kg·K) |
| 比热比(25℃，101.325kPa，气体)：Cp/Cv=1.669 |
粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s |
| 蒸汽压(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa |
| 表面张力(84K)：11.46mN/m |
导热系数(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K) |
具体可咨询：4006-2727-86 |
