
四氟化碳(CF4 Tetrafluoromethane;Carbon Tetrafluoride)
项目 |
指标纯度% |
四氟化碳(四氟甲烷 cf4) |
99.999% |
99.9997% |
99.99994% |
杂质含量 |
氮气 |
﹤5ppm |
﹤1ppm |
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氧气 |
﹤2ppm |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
氩气 |
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﹤20ppb |
氢气 |
|
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
总烃 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
一氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
二氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.25ppm |
﹤100ppb |
水 |
﹤2ppm |
﹤1ppm |
﹤200ppb |
*注:产品参数仅供参考,在保证产品纯度下,供方有可能根据原料参数变化而改变产品的参数,不再另行通知 包 装: 采用GB 钢瓶或DOT钢瓶,也可分装。 主要用途: 在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在 900 ℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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