高纯电子气

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作者：admin
发表时间：2006/3/30 21:17:17

品种名称
英文名
化学式
纯度(%)
充装容器(L)
充装量(Kg)
氨气
Ammonia
NH₃
99.999%
44、16、8
22.7、6.8、4.1
99.9997%
砷烷
Arsine
AsH₃
99.999%
50、25、10、5
22.7、11.3、4.5、2.3
99.9999%
三氯化硼
Boron trichloride
BCl₃
99.99%
44、16
36.3、10
99.999%
三氟化硼
Boron trifluoride
BF₃
99.99%
44、16、8、7
27.2、9.1、4.5
99.995%
氯气
Chlorine
Cl₂
99.99%
49、44、16、8
45.4、40.8、18.1、4.5
99.999%
二氯二氢硅
Dichlorosilane
SiH₂Cl₂
99.0%
44、16
40.9、10
99.9%
三氟甲烷
Halocarbon-23
CHF₃
99.995%
44、16
31.8、5.0
99.999%
氯化氢
Hydrogen chloride
HCl
99．995%
49、44、16
31.7、27.2、9.1
99．9995%
氧化亚氮
Nitrous oxide
N₂O
99.97%
44、16、8
27．2、9.0、4.5
99.9998%
三氟化氮
Nitrogen trifluoride
NF₃
99.7%
44、17
20、7.7
99.995%
SiCl₄
Silicon tetrachloride
SiCl₄
99.94%
210MC、38L
272、45.4
硅烷
Silane
SiH₄
99.999%
49、44
14、10
99.9995%
磷烷
Phosphine
PH3
99.999%
44、16、8、3
13．6、4.1、2.3、0.7

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